バキューム マニホールドは,複数のツール,チャンバー,センサー,バルブ,またはプロセスラインと1つのバキュームソースを接続する配送部品である.精巧 に 設計 さ れ た マニホールド は,パイプ 管 の 複雑 性 を 軽減 し,複数の 支線 を 横切る 安定 し た 圧力 を 維持 する こと に 役立ち ますこれらの部品は半導体機器,実験室,自動化システム,パッケージングマシン,医療機器,ロボット,産業用真空処理に使用されています.真空性能は密封質に依存しているからです精度,清潔さ,流量幾何学,製造業者はしばしば精密なCNC加工を使用して,カスタム真空マニホールドを生産します.設置機能信頼性の高い動作に必要な許容量を維持しながら,コンパクトな部品に

アルミニウムはCNC加工真空マニホールドの最も一般的な材料の1つで,軽量で機械化しやすく,熱伝導性があり,保護表面処理に適合しています.6061-T6 や 6082 のような グレード は,工業 や 研究所 の 用途 に よく 選ばれ ます.ステンレス鋼は,多様体は攻撃的な化学物質,繰り返し不妊,高温,または超高真空環境に耐える必要があります.銅は,良い加工能力と信頼性の高いスレッド接続が重要なコンパクト制御システムに適している可能性がありますPEEK,POM,またはPTFEのようなエンジニアリングプラスチックは,保温,化学的耐性,または軽量性が必要な場合に使用できます.材料の選択は,真空レベル,動作温度,ガス互換性構造の負荷,清潔性要件,および必要な内部表面の仕上げ

CNCフレーシングは,複雑なポートパターンと交差するチャネルを持つブロック型の真空マニホールドを製造するために一般的に使用されます. 3軸加工は,顔,穴,固定穴4軸の加工により,複数の側面へのアクセスが改善され,ポートがマニホールドボディの周りを並べなければならないときにエラーが減少します.5軸のCNC加工は,角接続を持つコンパクトのマニホールドに価値があります複合的な幾何学,狭い間隔のインターフェース,複数のセットアップを必要とする機能.CNCターニングは,円筒形多様体体,スレッドアダプター,シールプラグ,または組み込み接続部品フレッシングとターニングを組み合わせることで,製造者は正確なインターフェースと次要操作の少ない完全な組成物を生産することができます.

内部チャネルの設計は 真空伝導性,圧力安定性,排気速度に強く影響します.流出を制限したり 汚染が蓄積する地域を作ったりします穴の大きさ,道具の広さ,チャネルの角度,プラグの位置は,早期に考慮する必要があります.クロスドリルされた通路は,しばしばスレッドプラグ,溶接された閉塞,または圧迫された部品で密封されます.しかし,すべての閉鎖は潜在的な漏れ点を導入します.設計者はチャネルルーティングを簡素化し,不要な交差点を減らすべきである.スムーズな移行と寛大な内部半径は,チップや残留物を取り除くのを容易にする一方で,流れを改善する.高真空用途用機械加工戦略は,放出ガスやポンプダウンが遅れる可能性のあるバブル,閉じ込められた粒子,隠された空洞を最小限に抑える必要があります.

密封 機能 に は,特に 慎重 な CNC 制御 が 必要 です.O リング の 溝 は,正確 な 幅,深さ,角 半径,表面 仕上げ,圧縮 許容量 を 持た なけれ ば なり ませ ん.浅すぎた 溝 は 密封 器 を 圧迫 する密封面は平らで,漏れ路を形成するツールマークから自由でなければならない. ロープ式真空ポート,NPT を含むBSPP,メトリック,VCR,KF,またはカスタムインターフェースは,指定された標準を満たし,計測器の検査を通過する必要があります. マニホールドが直接バルブ,レギュレーター,センサー一貫したデータ制御は,すべてのインターフェースが組み立て中に正しく並ぶことを保証します.

表面 の 仕上げ は,真空 マニホールド の 外観 の 要求 だけ で なく,密封,清掃,腐食 耐性,汚染 制御 に も 直接 影響 し て い ます.CNCツールパスは,深い切断痕のない均一な表面を生産する必要があります密封面は通常,一般的な外面よりも細工が必要である.内側通路は,リミング,磨き,磨き,または非常に滑らかな流路が必要なとき,磨き流の仕上げ細かいチップがバルブを損傷したり,室を汚染したり,シールが正しく座るのを妨げることもあります.マニホールドは,超音波浄化によって適切に清掃する必要があります.溶媒で清掃,洗浄,乾燥,保護されたパッケージ

アノイド化 (Anodizing) は,アルミ真空マニホールドの一般的な表面処理である.クリアまたはカラーアノイド化により耐腐蝕性,耐磨性,外観が向上する.ハードアノイド化により,より厚い,より軽量な,より軽量な,より軽量な,より軽量な,より軽量な,より軽量な,より軽量な,より軽量な,より軽量な,より軽量な,より軽量な,より軽量な,より軽量な,より軽量な,より軽量な,より軽量な,より軽量な,より軽量な,より軽量な,より軽量な,より軽量な.頻繁に操作される マニホールドの硬い層しかし,アノジス化によって寸法が変化するので,密封溝,精密穴,スレッド,および配合されたインターフェースは,コーティング厚さを考慮する必要があります.重要密封面は,サイズと仕上げを維持するためにマスクすることができます.化学変換コーティングは,電気伝導性またはより薄い保護層が必要な場合の別のオプションです. 硬さ向上のために,電解ニッケルコーティングを選択することができます.化学耐性複雑な幾何学を均等にカバーする.

ステンレス鋼の真空マニホールドは,自由鉄汚染を除去し,天然の耐腐蚀酸化層を強化するために,加工後にしばしば消化されます.高度な純度で電球磨きが使用できます医療,製薬,半導体,超高真空のアプリケーションで 微小なピークを滑らかにし 清掃性を向上させるからですニッケルまたはクロム塗装は,腐食耐性を向上させ,よりきれいな仕上げを提供しますプラスチック・マニホールドは,通常,金属コーティングよりも慎重な機械仕上げを必要としますが,伝導性や化学性能を改善するために特殊な処理が使用されることがあります.

品質検査では,寸法,ポート位置,糸の精度,平らさ,溝の幾何学,表面の仕上げを検証する.調整計測機は,複雑なポートパターンとマウント関係を調べることができますリークテストは重要な検証ステップである.アプリケーションに応じて,製造者は圧力衰退,真空衰退,バブルテスト,ヘリウム質量スペクトロメーター試験ヒリウム検査は,非常に小さな漏れ路を検出できるため,高真空システムでは特に価値があります.清潔性検査と材料の追跡も 科学的な目的のために必要となるかもしれません半導体,航空宇宙,医療プロジェクト

定番のCNC加工の真空コニッポルは,多数のチューブとフィッティングから成るアセンブリに比べて重要な利点を提供します.彼らは接続点を削減し,設置スペースを節約し,繰り返し性を向上させます.維持を簡素化する統合 設計 は 組み立て 時間 を 短く し,不 正確 な 管道 装置 を 削減 する こと も でき ます.成功 的 な 生産 は,設計,加工,仕上げ,清掃,試験 の 間 の 緊密な 調整 に 依存 し て い ます.適切な素材 を 選べば機械加工可能なチャネルを設計し,密封機能を制御し,適切な表面処理を施し,信頼性の高い漏れ検査を行います.製造者は安定した性能を提供する真空マニホールドを供給することができます耐久性があり,要求の高い機器でも信頼性の高い動作です.