真空フレンジは,真空システム内の室,パイプ,バルブ,ポンプ,計量器,フィードスルー,およびその他の機器を接続するために使用される精密接続部品です.通常のパイプフレンジとは異なり,低圧下で信頼性の高い密封を保ち,微小な表面の欠陥や尺寸の誤りでも漏れを起こす必要があります.半導体製造,科学研究,航空宇宙試験,製薬加工,コーティング機器,真空炉,医療機器,分析装置精密CNC加工は,密封形状,同心度,平らさ,穴位,表面仕上げを制御できるため,標準およびカスタム真空フレンズを製造するために一般的に使用されます.適正 な 表面 処理 は 腐食 耐性 を さらに 向上 させる耐磨性,耐磨性,そして要求の高い操作環境との互換性.

圧力レベルや組み立て要件に合わせて,いくつかの真空フレンズ設計が利用可能である.KF または迅速 フランジ接続は,中心リングとクランプで迅速に組み立てることができるため,低真空および中真空システムで頻繁に使用されますISOフレンズは,取り外せる接続を必要とする大型真空管や設備に適しています.CFフレンズは,高真空および超高真空システムで使用されています.精密加工された密封縁の間に金属の密封板が圧縮されている場合真空フレンジは,Oリング,エラストーマーガスケット,溶接接続,スレッドポート,または独自の密封構造を使用することもできます.標準的な寸法が広く利用可能であるにもかかわらず,機器が異常なポートサイズを持っている場合,CNC加工された真空フレンジはしばしば必要である設置スペースが限られ,特殊なボルトパターン,統合されたセンサーインターフェース,または特定の材料の要求.

ステンレス鋼は真空フレンズの最も一般的な材料の1つです.304,304L,316,316Lなどのグレードは強度,耐腐蝕性,溶接性,真空互換性を良好にします.低炭素ステンレス鋼は,溶接エリアの周りの感受性のリスクを軽減するため,フレンズを室やパイプに溶接するときに特に有用ですアルミの真空フレンズは軽く,加工が容易で,実験室機器,携帯システム,減量が重要な機器に適しています.アルミニウムは熱伝導性 も 良いニッケル合金,チタン,銅,および特殊金属が使用され,フレンジが攻撃的な化学物質に耐える必要がある場合,極端な温度,磁気制限,または異常なプロセス条件

CNCターニングは,丸型真空フレンズの主要な製造方法である.外径,中央穴,密封面,ガスケット溝,溶接準備,および他の同心的機能を生産する.正確 な ターニング は,穴 と 密封 面 の 関係 を 維持 する 助け に なり ますCNCフライジングは,ボルトホール,スロット,レンチキーフラット,マウントパターン,および補助ポートを作成するために使用されます.ミルンターン機械は,単一のセットアップでこれらの機能の多くを完了することができます規則のない真空フレンズ,長方形のインターフェース,または統合されたアダプターコンポーネントでは,多軸CNCフレッシングが主なプロセスである可能性があります.

密封面は真空フレンズの最も重要な領域である.エラストーマー密封フレンズは,幅,深さ,角半径を制御した精密加工されたOリング溝を必要とします.表面の仕上げ溝の深さが過剰である場合,十分な密封圧縮が妨げられ,深さが不十分である場合,Oリングを損傷したり,過剰な組立力を生み出したりします.CFフレンズには,切る際に柔らかい金属ガシケットを貫通する正確に形成されたナイフの刃が必要です. 縁の幾何学は鋭く均一で, 突起,穴,または操作損傷なしでなければならない. 密封縁が簡単に損傷しているため,特別なツールは,注意深く検査,生産と配送を通じて不可欠です.

平らさは別の重要な加工要件である. 歪んだ,不均等,または過度に粗いフレンズ面は,ガスケット全体に連続的な漏れ路線を作成することができる. 機械のストレスは,薄い壁制御された粗末化と仕上げ配列を使用することで残留ストレスを軽減する.密封面が最終切断を受ける前に,作業の間に安定させることができる部分大型または薄いフレンズは,ストレスを軽減する材料,特殊な固定装置,または溶接後の加工を必要とします. 精密指標,表面プレート,必要な幾何学的な許容量を満たすことを確認するのに役立ちます..

表面の荒さも真空密封の種類に合わせなければならない.太りすぎた表面は,密封板が微小な隙間をすべて満たすのを妨げることがあります.空気から真空側へと導く経路を作ることができます細工型CNC仕上げ,磨き,ラッピング,または磨きは,特に滑らかな密封面を必要とするアプリケーションで使用することができます.しかし,過剰な磨きは重要な幾何学を変えることができます.特にナイフの刃や狭いガスケットの地面にしたがって,表面要求は,一般的な化粧品の仕上げとしてのみ記述されるのではなく,工学図に明確に定義されるべきである.

螺栓 と 螺栓 の 特徴 も 精密 な CNC 制御 が 必要 です.螺栓 の 円 の 直径,穴 の 大きさ,対 穴,スロット の 位置 は,フレンズ が 密封 器 を どの よう に 均等 に 圧縮 する か に 影響 し て い ます.合わさ ない 穴 は,設置 を 複雑 に し,密封 圧 を 不均一 に するセンサー,バルブ,チューブ接続に使用されるスレッドは,指定された規格を満たし,バブルや不完全なプロファイルがない必要があります.スレッド計,プラグ計,これらの特徴を検証することができます.設計者はまた,特に真空フレンズが室壁,モーター,ヒーター,または他のポートの近くに設置されている場合,ツールや固定装置のための十分なクリアスペースを提供する必要があります.

表面処理は,フレンズ材料と用途によって異なります.ステンレス鋼の真空フレンズは,CNC加工後に通常パシビ化されます.消化 は 表面 から 自由 な 鉄 の 汚染 を 除去 し,安定 し て 腐食 に 耐える オキシド 層 の 形成 を 促進 するこの処理は,機械工具や処理機器が金属汚染を導入する場合に特に価値があります.電解は半導体,製薬,医療,超高真空部品表面から微小なピークを除去し 清掃を改善し 汚染の罠を減らし より均一な外観を生み出します電気磨きされたステンレス鋼は,適切に清掃され処理された場合,より少ない排出を支える.

アルミニウム真空フレンズは,透明アノイド化,ハードアノイド化,化学変換コーティング,または無電化ニッケルコーティングを受けることができます.アノイド化により腐食と耐磨性が向上します.しかし,コーティングは寸法に影響し,すべての密封面に適していない可能性があります.. 重要なガスケット地,スレッド,穴,および固定直径は,マスキングを必要とする可能性があります.ハードアノジスメントは,繰り返し組み立てまたは機械接触にさらされている外部領域に有用です.電気のないニッケル塗装によりより均一な覆いと化学的耐性が向上します電気伝導性が必要である場合,化学変換コーティングが選択され得るのは,従来のアノジスよりも薄い保護層を作成するためである.

洗浄 は 重要 な 生産 段階 で ある の で,油,チップ,磨材,指紋,磨き 化合物 を 機械 に 加工 する と,真空 の 性能 が 低下 する こと が あり ます.掃除用フレンズは適切な溶媒で清掃することができる.塩基溶液,超音波装置,浄水,または必要な清潔度レベルに応じて制御された乾燥プロセス高真空状態での使用を目的とする部品には,クリーンルームのパッケージとシール面の保護カバーが必要になる場合があります.洗浄方法も,フレンズ材料と表面処理と互換性を保ちなければならない.

品質検査では,外側と内側の直径,フレンズの厚さ,密封の幾何学,ボルトのパターン,溝の寸法,平らさ,同心度,スレッド,表面の粗さなどを検証する.傷跡 を 識別 する ため に 視覚 的 な 検査 が 重要 です漏れ点検査は,フレンズを室,アダプター,または完全な真空コンポーネントに組み立てた後に実施することができる.ヘリウム漏れ検査は,より単純な方法では検出できない非常に小さな漏れを特定できるため,高真空装置ではしばしば使用されます.

精密なCNC加工の真空フレンズは,要求の高い真空機器のために,強く,取り外され,漏れを防げる接続を提供します.標準的な外径またはボルトパターンにマッチする以上のものに依存します材料の選択,密封の幾何学,平らさ,表面の仕上げ,加工の安定性,表面処理,清掃,検査はすべて最終的な接続の信頼性に貢献します.設計段階から生産段階まで これらの要件を調整することで漏れリスクを軽減し,設置を簡素化し,繰り返し組み立てに耐える,科学機器や工業機器の使用期間中 安定した真空性能をサポートする.